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Product Category大流量气体过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003μm,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决方案
垫圈式设计确保易于安装,使其成为 MFC(质量流量控制器)模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。 多孔金属限流过滤器能够承受高达 400°C 的温度,有效阻止颗粒侵入,保护敏感气体成分。
工艺气体专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,对工艺室环境造成影响,有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计,灵活适应各类安装空间。
工艺气体专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,对工艺室环境造成影响,有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计,灵活适应各类安装空间。
工艺气体专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,对工艺室环境造成影响,有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计,灵活适应各类安装空间。
工艺气体专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,对工艺室环境造成影响,有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计,灵活适应各类安装空间。
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