当前位置:首页 >产品中心>kaiyun.com体育 >不锈钢金属过滤器>恒歌使用点专用气体半导体过滤器
产品分类
Product Category详细介绍
产品介绍
OF系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒,在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤,满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。
产品特点
▶不锈钢粉末烧结介质,可快速排气
▶整体316L不锈钢结构
▶减少工艺腔体排气时的湍流
▶适用于多种工艺气体
▶洁净室环境内制造、测试、包装
▶100%完整性测试通过
▶100%氦气泄露检测通过
▶耐高温、耐高压、耐腐蚀
▶防止微粒混入,帮助提高产品合格率
▶可根据安装空间进行设计
产品咨询
微信公众号
移动端浏览