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恒歌大流量半导体高纯过滤器

简要描述:大流量气体过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003μm,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决方案

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-11-13
  • 访  问  量:53

详细介绍


用于半导体应用的高纯半导体大流量过滤器

产品介绍

大流量气体过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003μm,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决方案


产品特点

不锈钢粉末烧结介质,可快速排气

整体316L不锈钢结构

减少工艺腔体排气时的湍流

适用于多种工艺气体

洁净室环境内制造、测试、包装

100%完整性测试通过

100%氦气泄露检测通过

耐高温、耐高压、耐腐蚀

防止微粒混入,帮助提高产品合格率

可根据安装空间进行设计












恒歌大流量半导体高纯过滤器
















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