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恒歌使用点专用气体过滤器

简要描述:用于半导体行业集成气体输送与控制系统,兼容C型和W型多种密封规格,实现0.003μm级高效颗粒过滤,保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量,适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造,坚固耐用,紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件,便于系统集成与模块化设计升级

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  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-11-11
  • 访  问  量:93

详细介绍


用于半导体应用的高纯半导体使用点专用气体过滤器

产品介绍

用于半导体行业集成气体输送与控制系统,兼容C型和W型多种密封规格,实现0.003μm级高效颗粒过滤,保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量,适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造,坚固耐用,紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件,便于系统集成与模块化设计升级,安装维护便捷高效


产品特点

不锈钢粉末烧结介质,可快速排气

整体316L不锈钢结构

减少工艺腔体排气时的湍流

适用于多种工艺气体

洁净室环境内制造、测试、包装

100%完整性测试通过

100%氦气泄露检测通过

耐高温、耐高压、耐腐蚀

防止微粒混入,帮助提高产品合格率

可根据安装空间进行设计













恒歌使用点专用气体过滤器
















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