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恒歌半导体IGS面板专用过滤器

简要描述:OF系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒,在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤,满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-11-11
  • 访  问  量:113

详细介绍


用于半导体应用IGS面板专用过滤器

产品介绍

SF系列IGS面板专用过滤器,用于半导体行业集成气体输送与控制系统,兼容C型和W型多种密封规 格,实现0.003μm级高效颗粒过滤,保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量,适助力设备升 级无忧。全316L不锈钢构造,坚固耐用,紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的 表面安装元件,便于系统集成与模块化设计升级,安装维护便捷高效。

产品特点

不锈钢粉末烧结介质,可快速排气

整体316L不锈钢结构

减少工艺腔体排气时的湍流

适用于多种工艺气体

洁净室环境内制造、测试、包装

100%完整性测试通过

100%氦气泄露检测通过

耐高温、耐高压、耐腐蚀

防止微粒混入,帮助提高产品合格率

可根据安装空间进行设计




恒歌半导体IGS面板专用过滤器
















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