扩散器专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，对工艺室环境造成影响，有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计，灵活适应各类安装空间。

垫圈式设计确保易于安装，使其成为 MFC（质量流量控制器）模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。 多孔金属限流过滤器能够承受高达 400°C 的温度，有效阻止颗粒侵入，保护敏感气体成分。

垫圈式设计确保易于安装，使其成为 MFC（质量流量控制器）模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。 多孔金属垫片过滤器能够承受高达 400°C 的温度，有效阻止颗粒侵入，保护敏感气体成分。

垫圈式设计确保易于安装，使其成为 MFC（质量流量控制器）模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。 多孔金属垫片过滤器能够承受高达 400°C 的温度，有效阻止颗粒侵入，保护敏感气体成分。

垫圈式设计确保易于安装，使其成为 MFC（质量流量控制器）模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。 多孔金属垫片过滤器能够承受高达 400°C 的温度，有效阻止颗粒侵入，保护敏感气体成分。

通过防止与污染相关的泄漏，延长设备使用寿命并降低维护成本。该过滤器提供低压和高压两种型号，可改装到现有的管道系统中，为保护精密设备免受污染提供经济高效的解决方案