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Product CategoryOF系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒,在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤,满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。
大流量气体过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003μm,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决方案
垫圈式设计确保易于安装,使其成为 MFC(质量流量控制器)模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。 多孔金属垫片过滤器能够承受高达 400°C 的温度,有效阻止颗粒侵入,保护敏感气体成分。
大流量气体过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003μm,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决方案
大流量气体过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003μm,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决方案
垫圈式设计确保易于安装,使其成为 MFC(质量流量控制器)模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。 多孔金属限流过滤器能够承受高达 400°C 的温度,有效阻止颗粒侵入,保护敏感气体成分。
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