垫圈式设计确保易于安装，使其成为 MFC（质量流量控制器）模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。 多孔金属垫片过滤器能够承受高达 400°C 的温度，有效阻止颗粒侵入，保护敏感气体成分。

工艺气体专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，对工艺室环境造成影响，有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计，灵活适应各类安装空间。

IGS面板气体过滤器，专为高流量电子级气体超纯净化设计，过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒，在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。

扩散器专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，对工艺室环境造成影响，有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计，灵活适应各类安装空间。

垫圈式设计确保易于安装，使其成为 MFC（质量流量控制器）模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。 多孔金属垫片过滤器能够承受高达 400°C 的温度，有效阻止颗粒侵入，保护敏感气体成分。

用于半导体行业集成气体输送与控制系统，兼容C型和W型多种密封规格，实现0.003μm级高效颗粒过滤，保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量，适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级